ZU35 温控器
ZU35 温控器
SEMI Chiller温控器主要用于半导体（FAB）和FPD显示制程中工艺设备的温度精准控制，如刻蚀/薄膜/匀胶/显影等工艺设备的控温（例如LAM, AMAT, TEL, NAURA，Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等）。
SEMI Chiller温控器主要由液泵、换热器、储液罐、制冷压缩机及控制系统组成的工艺过程中的温控设备。
特点
先进的控制技术，模糊控制，前馈控制，确保设备有较高的温控精度和良好的温度跟随性
先进的节能技术，Hot-Gas，变频技术等大幅降低了设备能耗
先进的密封和检漏技术，极大的减少了循环液的泄露和挥发情况
超低温制冷技术，单/多级复叠技术，多层复合保温技术
支持用户多通道/多类型定制需求
技术规格
| ZU35S Chiller | Specification | |||||
| Temperature range | -80 to +40℃ | |||||
| Temperature accuracy | ±0.1℃（Constant state） | |||||
| Cooling capacity | -80℃@3.5Kw | |||||
| Heater capacity | 3Kw | |||||
| Flow | 20LPM@0.5Mpa | |||||
| Cooling method | Water cooled | |||||
| Coolant Port | 3/4” Rc | |||||
| Facility water Port | 1/2” Rc | |||||
| Power supply | 3-phase 208V or 400V ±10% | |||||
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