深冷水汽捕集泵
COOL2000H
COOL3000H
COOL4000H
在真空腔体内，水汽分子是典型的环境污染气体，占腔内残余气体 65% 到 95% ，当真空度达到 10E-2Pa时，水汽分子用平常真空泵难排出腔体，是典型的具副作用的污染气体，是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。为了快速的达到较高的真空度，COOL系列水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔内的水汽，辅助抽真空，在极短的时间达到需求的真空度
COOL系列水汽深冷捕集泵工作原理将一个冷阱盘管或挡板，放置在真空室内的腔壁上或油扩散泵的泵口，通过制冷盘管表面，实现低温冷凝效应，迅速捕集集真空泵统的水汽分子或其它残余气体分子，从而获得洁净的真空环境，提高产品的产量和质量，改善镀膜的品质，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。
COOL系列水汽深冷捕集泵有单级和双级的配置，双级制冷可单独控制每一路的制冷，两路冷阱盘管或挡板都能被快速除霜。
特点
水汽抽速366000L/s
快速捕集水汽、油蒸汽；抽真空时间可缩短75%
温度可达到-120℃至-150℃
产品吞吐量的20%上升到100%
在成本/性能上优于液氮制冷
制冷量可达4000W
环保型混合冷媒满足所有适用地区的环境要求（京都国际协议）。
自动化控制，支持远程通讯
高清触摸屏，方便操作的面板控制
双级制冷回路配置
应用
替代液氮的经济性选择
在光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统，可以用于真空室内抽吸水汽，以获得更好的薄膜质量
用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油
化学工程，液化工艺气体
系统
除了COOL设备单元外，还提供以下关键组件，如有需要，可以按照您的规格制造:
冷阱盘管和挡板
冷阱盘管一般安装在真空腔室内，或高阀与真空室之间，适用于镀膜材料放气量较大的场合．冷阱盘管同时具有除霜功能，使冷阱盘管在每次开门之前恢复到常温，有利于下次抽真空。
冷阱挡板一般安装在扩散泵上方，主要功能是防止油扩散泵的油气返流，同时也可以抽除水汽，提高真空度。
馈通件
（可单独提供或作为冷阱盘管的一部分）
双通道在保持给入管和返回管之间的热隔离的同时，提供了进入真空腔的法兰。在外部，管接头与制冷剂管路可直接连接。在腔室侧，馈通和内部冷阱管道焊接在一起。
制冷剂管路
“制冷剂管”包括一条给入管和一条返回管，该管带有不锈钢管接头（Parker或VCR），可与COOL System和馈通件配合使用。制冷剂管采用泡沫型保温层绝热保护，防止暴露在户外空气中，以减少热量损失。
水汽压强表
有效地捕捉水蒸气的适宜温度是多少?
要找到适合您的真空系统的低温表面温度，请找到下面列出的系统的基本压力。然后继续到显示所需低温表面温度的右栏。这个温度表示90%的水蒸气捕获效率。
压力 Torr | 温度 ℃ | 压力 Torr | 温度 ℃ |
5×100 | -25.4 | 5×10-5 | -104.9 |
2×100 | -34.4 | 2×10-5 | -109.1 |
1×100 | -40.8 | 1×10-5 | -112.2 |
5×10-1 | -46.8 | 5×10-6 | -115.1 |
2×10-1 | -54.3 | 2×10-6 | -118.1 |
1×10-1 | -59.7 | 1×10-6 | -121.5 |
5×10-2 | -64.8 | 5×10-7 | -124.1 |
2×10-2 | -71.2 | 2×10-7 | -127.5 |
1×10-2 | -75.8 | 1×10-7 | -129.9 |
5×10-3 | -80.1 | 5×10-8 | -132.2 |
2×10-3 | -85.6 | 2×10-8 | -135.2 |
1×10-3 | -89.6 | 1×10-8 | -137.3 |
5×10-4 | -93.4 | 5×10-9 | -139.5 |
2×10-4 | -98.2 | 2×10-9 | -142.1 |
1×10-4 | -101.6 | 1×10-9 | -144.1 |
Cool System 抽气速度和压力的关系
冷阱低温表面平均温度与外加热负荷的函数关系
技术规格
| 型号 | COOL2000H | COOL3000H | COOL4000H |
制冷量（W） | 2700 | 3500 | 4400 |
理论抽速（L/S） | 228000 | 295000 | 366000 |
腔体内理论抽速（L/S） | 154000 | 198000 | 242000 |
极限真空度（Torr） | 2×10-8 | 2×10-8 | 2×10-8 |
预制冷时间 | ＜30Min | ＜30Min | ＜30Min |
冷却时间 | ≤4Min | ≤5Min | ≤6Min |
除霜时间 | ≤5Min | ≤6Min | ≤7Min |
冷阱管表面积 ㎡ | 1 | 1.6 | 2.4 |
冷却要求 | 水冷,18-32℃,2-4bar | ||
冷却水流量要求（L/min） | ＞20 | ＞28 | ＞35 |
冷却水接口 | G3/4 | G3/4 | G3/4 |
制冷剂 | 环保混合型冷媒 | ||
控制系统 | PLC+触摸界面 | ||
电源要求 | 380-400V, AC , 3PH, 50/60Hz | ||
功率 | 10Kw | 13Kw | 15Kw |
配套附件
冷阱盘管 | 冷阱挡板 | 馈通 | 制冷剂管 |
*可定制不同形状和尺寸 |
*可定制不同尺寸 |
*可选Parker和VCR接头,规格：1寸或2寸 |
*标准长度2.45米，可定制长度 |
冷媒 | 冷水机 | ||
*根据设备型号,兼容Polycold设备 |
*根据设备配置，同时兼容其他水冷设备 | ||
